濟南博納熱電爐有限公司
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氣相沉積爐是一種用于在材料表面沉積薄膜或涂層的熱處理設備，通過化學氣相沉積（CVD）技術實現。在此過程中，氣態(tài)前驅物在高溫條件下在基底材料表面發(fā)生化學反應，生成固態(tài)沉積物。這個過程在控制的氣氛和精確的溫度條件下進行，以確保薄膜的均勻性和特定的物理化學性質。
產品簡介：
博納熱CVD/PECVD氣相沉積爐是一種基于等離子體化學氣相沉積技術的薄膜沉積設備，能夠對各種材料進行薄膜沉積，包括金屬、半導體、絕緣體等?？蓮V泛應用于微電子、光電、平板顯示、儲能等領域。
產品特點：
l 最高溫度：1200℃（HRE電阻絲加熱）。
l 智能化50段可編程自動控制。
l 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。
l 安全保護當爐體漏電時自動斷電。
l 爐殼結構，雙層風冷結構；表面溫度低于50℃。
l 爐膛采用日本技術真空吸附成型的優(yōu)質氧化鋁多晶纖維無機材料，保溫性能極佳。
l 304不銹鋼KF快卸密封法蘭。
l 升溫速率 ≦20℃/分。
l 控溫精度 ±1℃。
l 薄膜沉積速率高：射頻輝光技術，大大的提高了薄膜的沉積速率，沉積速率可達10?/S。
l 大面積均勻性高：采用了先進的多點射頻饋入技術，特殊氣路分布和加熱技術等，使得薄膜均勻性指標達到8%。
l 一致性高：用半導體行業(yè)的先進設計理念，使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%。
l 工藝穩(wěn)定性高：高度穩(wěn)定的設備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定。
l 標配直連式真空泵，極限真空度可達10Pa。
l 標配三路質量流量計。
l 等離子射頻電源：大射頻功率達500W，輸出頻率13.56MHz±0.005%，輸入電源 208-240VAC, 單相50/60Hz。
可選配件：
● 真空系統可根據客戶需求選擇（最高真空度可達7x10-4Pa,分子泵真空系統）。
● 可提供混氣系統及質量流量計，滿足多路氣體的混合及流量的精準控制。
● 高清觸控屏。
技術參數：
產品名稱 | CVD化學氣相沉積系統 |
產品型號 | BR-CVD/PECVD |
滑道 | 帶滑道，可滑動爐膛，實現快速升溫或冷卻功能 |
加熱區(qū)長度 | 400mm 單溫區(qū)/雙溫區(qū) |
爐管尺寸 | 直徑60x1200mm 外徑x長 |
爐管材質 | 高純石英管 |
工作溫度 | ≤1100℃ |
溫控系統 | 人工智能PID儀表，自動控制溫度 |
溫控精度 | ±1℃ (具有超溫及斷偶報警功能) |
加熱速率 | 建議 0~10℃/min |
加熱元件 | 高品質電阻絲 |
真空系統 | |
額定電壓 | 單相 220V 50Hz |
可通氣體 | 氮氣、氬氣等惰性氣體 |
測溫元件 | 熱電偶測溫 |
殼體結構 | 雙層殼體結構帶風冷系統 |
真空法蘭 | 帶有進氣口，另一端帶控壓閥，氣動泄壓閥和放氣閥。 |
供氣系統 | 四路精密質子流量計，通過觸屏來調節(jié)氣體流量 |
真空系統 | 旋片泵，真空度在空爐冷態(tài)可達1pa， 真空計：進口數顯真空計實時顯示真空度，精度高。 |
氣體定量系統 | 整體可以控制壓力范圍-20kpa到20kpa(相對壓力) |
額定電壓 | 單相 220V 50Hz |
射頻電源（僅PECVD） | |
信號頻率 | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍 | 500W |
最大反射功率 | 500W |
射頻輸出接口 | 50Ω,N-type,female |
功率穩(wěn)定度 | ±0.1% |
諧波分量 | ≤-50dbc |
供電電壓 | 單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
整機效率 | >=70% |
功率因素 | >=90% |
冷卻方式 | 強制風冷 |
型號 | 爐管直徑x加熱區(qū)長度（mm） | 爐管長度（mm） | 功率（kW） | 最高溫度（℃） | 氣體控制 | 真空度（Pa） |
|---|---|---|---|---|---|---|
BR-CVD-60 | Φ60×400 | 1200 | 3 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-CVD-80 | Φ80×400 | 1200 | 4 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-CVD-100 | Φ80×400 | 1200 | 6 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
型號 | 爐管直徑x加熱區(qū)長度mm | 功率(kW) | 最高溫度最高溫度（℃） | 射頻電源 | 氣體控制 | 真空度（Pa） | |
頻率 | 功率 | ||||||
BR-PECVD-60 | Φ60×450 | 4 | 1200 | 13.56MHz±0.005% | 300-500W | 3路 | 10Pa/7x10-3 |
BR-PECVD-80 | Φ80×450 | 5 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
BR-PECVD-100 | Φ100×450 | 7 | 1200 | 3路 | 10Pa/7x10-3 | ||
